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首页标题    热解氮化硼坩埚PBN坩埚    VGF坩埚
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VGF坩埚

VGF坩埚是应用于垂直梯度凝固法(VGF)技术中的一类坩埚。目前,VGF技术作为单晶生长的热门技术,是微光电子和半导体产业生长GaAs单晶和InP单晶的良好选择。
主要特点:
1.可制作大规格坩埚(最大直径8inch,最大高度18inch);
2.纯度>99.99%
3.使用次数多(具有优异的层间结构);
产品应用
应用于原位合成GaAs、InP等半导体单晶。

PBN性能参数表

Properties(属性) Units(单位) Values(数值)
Density(密度) g/cm3 1.95-2.20
Tensile Strength(抗拉强度) MPa 112
Bending Strength(弯曲强度) MPa 173
Compression Strength(压缩强度) MPa 154
Young's Modulus(杨氏模量) GPa 18
Thermal Conductivity(导热系数) W/m°C "a" 60  "c" 2
Specific Heat(比热) J/g·℃ 0.90(RT)
Resistivity(电阻率) Ω.cm 2×1015
Dielectric Strength(介电强度) D.C. volts/mm 2x1015
Dielectric Constant(介电常数)   "c" 3.07
Metal Impurity Content(金属杂质含量) ppm <10