VGF坩埚
VGF坩埚是应用于垂直梯度凝固法(VGF)技术中的一类坩埚。目前,VGF技术作为单晶生长的热门技术,是微光电子和半导体产业生长GaAs单晶和InP单晶的良好选择。
主要特点:
1.可制作大规格坩埚(最大直径8inch,最大高度18inch);
2.纯度>99.99%
3.使用次数多(具有优异的层间结构);
产品应用
应用于原位合成GaAs、InP等半导体单晶。
主要特点:
1.可制作大规格坩埚(最大直径8inch,最大高度18inch);
2.纯度>99.99%
3.使用次数多(具有优异的层间结构);
产品应用
应用于原位合成GaAs、InP等半导体单晶。
PBN性能参数表
Properties(属性) | Units(单位) | Values(数值) |
Density(密度) | g/cm3 | 1.95-2.20 |
Tensile Strength(抗拉强度) | MPa | 112 |
Bending Strength(弯曲强度) | MPa | 173 |
Compression Strength(压缩强度) | MPa | 154 |
Young's Modulus(杨氏模量) | GPa | 18 |
Thermal Conductivity(导热系数) | W/m°C | "a" 60 "c" 2 |
Specific Heat(比热) | J/g·℃ | 0.90(RT) |
Resistivity(电阻率) | Ω.cm | 2×1015 |
Dielectric Strength(介电强度) | D.C. volts/mm | 2x1015 |
Dielectric Constant(介电常数) | "c" 3.07 | |
Metal Impurity Content(金属杂质含量) | ppm | <10 |