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首页标题    热解氮化硼坩埚PBN坩埚    MBE坩埚
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MBE坩埚

分子束外延(MBE)法是生产砷化镓外延片的方法之一,该法可制出多元、多层、同质、异质、超晶格和量子阱等结构的外延材料。晶体纯度高,化学稳定性好。
主要特点:
1. 可制作大规格坩埚(最大直径12inch,最大高度17inch);
2. 密度高(最高可达2.2g/cm3);
3. 纯度高(>99.99%);
4.不易开裂(层间强度高)。
产品应用
主要用于MBE法合成半导体单晶及Ⅲ-Ⅴ族化合物。

 

PBN性能参数表

Properties(属性) Units(单位) Values(数值)
Density(密度) g/cm3 1.95-2.20
Tensile Strength(抗拉强度) MPa 112
Bending Strength(弯曲强度) MPa 173
Compression Strength(压缩强度) MPa 154
Young's Modulus(杨氏模量) GPa 18
Thermal Conductivity(导热系数) W/m°C "a" 60  "c" 2
Specific Heat(比热) J/g·℃ 0.90(RT)
Resistivity(电阻率) Ω.cm 2×1015
Dielectric Strength(介电强度) D.C. volts/mm 2x1015
Dielectric Constant(介电常数)   "c" 3.07
Metal Impurity Content(金属杂质含量) ppm <10