MBE坩埚
分子束外延(MBE)法是生产砷化镓外延片的方法之一,该法可制出多元、多层、同质、异质、超晶格和量子阱等结构的外延材料。晶体纯度高,化学稳定性好。
主要特点:
1. 可制作大规格坩埚(最大直径12inch,最大高度17inch);
2. 密度高(最高可达2.2g/cm3);
3. 纯度高(>99.99%);
4.不易开裂(层间强度高)。
产品应用
主要用于MBE法合成半导体单晶及Ⅲ-Ⅴ族化合物。
主要特点:
1. 可制作大规格坩埚(最大直径12inch,最大高度17inch);
2. 密度高(最高可达2.2g/cm3);
3. 纯度高(>99.99%);
4.不易开裂(层间强度高)。
产品应用
主要用于MBE法合成半导体单晶及Ⅲ-Ⅴ族化合物。
PBN性能参数表
Properties(属性) | Units(单位) | Values(数值) |
Density(密度) | g/cm3 | 1.95-2.20 |
Tensile Strength(抗拉强度) | MPa | 112 |
Bending Strength(弯曲强度) | MPa | 173 |
Compression Strength(压缩强度) | MPa | 154 |
Young's Modulus(杨氏模量) | GPa | 18 |
Thermal Conductivity(导热系数) | W/m°C | "a" 60 "c" 2 |
Specific Heat(比热) | J/g·℃ | 0.90(RT) |
Resistivity(电阻率) | Ω.cm | 2×1015 |
Dielectric Strength(介电强度) | D.C. volts/mm | 2x1015 |
Dielectric Constant(介电常数) | "c" 3.07 | |
Metal Impurity Content(金属杂质含量) | ppm | <10 |